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各行业净化标准
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| 行业分类 |
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级别 |
| 0.1 |
1.000 |
10.000 |
100.000 |
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| 10 |
100 |
1.000 |
10.000 |
100.000 |
半
导
体
工
业 |
拉单晶 |
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------ |
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| 扩散 |
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| 腐蚀、光刻、表面处理、金属蒸发 |
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| 组装试验 |
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| 原料 |
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| 研磨 |
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| 包装 |
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| 半成品贮藏 |
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| 激光工业 |
气体激光 |
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| 固体激光 |
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| 半体激光、激光手术刀 |
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光
学
仪
器 |
镜片研磨 |
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| 刻标 |
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| 医用照相机加工、配镜、镜头组装 |
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| 胶片制造、干燥 |
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| 缩微胶片、显像、干燥 |
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| 组装 |
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| 涂漆、 |
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记
时
精
密
仪
器 |
电子表、零件组装、火箭零件加工 |
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| 人造卫星控制器 |
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| 高可靠性部件、装置 |
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| 微型轴承 |
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| 普通轴承 |
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| 组装、检查 |
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| 电子计算机 |
磁鼓、磁带、磁盘 |
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| 加工、组装、试验、检查 |
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电电
气子
式机
计械
测
器
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显象管 |
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| 高可靠管、光导摄像管 |
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| 印制版 |
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| 小型继电器 |
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| 精密仪器仪表 |
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| 零件、加工、组装、检查 |
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| 美国联邦标准FS209E的空气洁净度级别 |
| 级别名称 |
级别限制 |
| 0.1υm |
0.2υm |
0.3υm |
0.5υm |
5υm |
| 容积单位 |
容积单位 |
容积单位 |
容积单位 |
容积单位 |
| 国际单位 |
英制单位 |
M3 |
ft3 |
M3 |
ft3 |
M3 |
ft3 |
M3 |
ft3 |
M3 |
ft3 |
| M1 |
|
350 |
9.91 |
75.7 |
2.14 |
30.9 |
0.875 |
10.0 |
0.283 |
|
|
| M1.5 |
1 |
1240 |
35.5 |
265 |
3.50 |
106 |
3.00 |
35.3 |
1.00 |
|
|
| M2 |
|
35000 |
99.1 |
757 |
21.5 |
309 |
8.75 |
100 |
2.83 |
|
|
| M2.5 |
10 |
12400 |
350 |
2650 |
75.5 |
1060 |
30.0 |
353 |
10.0 |
|
|
| M3 |
|
35000 |
991 |
7570 |
214 |
3090 |
87.5 |
1000 |
28.3 |
|
|
| M3.5 |
100 |
|
|
26500 |
750 |
10600 |
300 |
3530 |
100 |
|
|
| M4 |
|
|
|
75700 |
2140 |
30900 |
875 |
10000 |
283 |
|
|
| M4.5 |
1000 |
|
|
|
|
|
|
35300 |
1000 |
247 |
7.00 |
| M5 |
|
|
|
|
|
|
|
1000 |
2830 |
618 |
17.5 |
| M5.5 |
10000 |
|
|
|
|
|
|
35300 |
10000 |
2470 |
70.0 |
| M6 |
|
|
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|
|
|
1000000 |
28300 |
6180 |
175 |
| M6.5 |
100000 |
|
|
|
|
|
|
35300 |
100000 |
24700 |
700 |
| M7 |
|
|
|
|
|
|
|
1000000 |
28300 |
61800 |
1750 | |
| |
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